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其工作原理是由與手輪一起轉動的閥桿將閥頭壓下,使閥關閉??繌椈珊蜌鈮簩㈤y頭抬起,使閥開啟。膜片將介質與大氣隔開。其優點是密封性好,可靠,死區小,其死區體積不到相同口徑波紋管閥的一半。易于排除痕量殘留氣體;閥頭與閥座間無相對摩擦,不會有金屬粒子落入介質中。可以同時滿足高壓、真空、高低溫的綜合性能。膜片式截止閥工作壓力可達21MPa,適用溫度-54~316℃,漏氣速率1.33×10-7Pa·L/s。可供高純氣體系統用。
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